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기존 EUV 더블 패터닝 시스템 대비 빠르고 간소하며 비용 효과적!

어플라이드 머티어리얼즈가 고성능 트랜지스터 제작 및 배선층 제작 과정에서 EUV 노광 스텝(step)을 줄임으로써 첨단 반도체 제조에 소요되는 비용 및 복잡성을 낮추고, 환경에 미치는 영향을 줄일 수 있는 획기적인 패터닝 기술을 공개했다.

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